Duke杜克SURF-CAL 尺度標準微粒|聚苯乙烯乳膠粒子

Duke SURF-CAL 尺度標準微粒

NIST溯源尺度標準，用於(yu) 需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為(wei) 各種矽晶片的表麵性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chan) 品的粒徑複合儀(yi) 器廠家所需的各種規格。SURF-CAL係列產(chan) 品完符合SEMI行業(ye) 協會(hui) 的建立的SSIS標指導準則，微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的範圍，覆蓋了半導體(ti) 技術藍圖（ITRS）所義(yi) 的關(guan) 鍵質控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的矽晶片（PSL）表麵，用戶以對掃描儀(yi) 進行周期性標，並與(yu) 其它的掃描儀(yi) 進行對比。用戶還以對生產(chan) 環節中關(guan) 鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chan) 品包裝為(wei) 50ml，微粒分散於(yu) 超淨過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小於(yu) 這一粒徑的產(chan) 品還提供1010 /ml 的產(chan) 品包裝規格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀(yi) （DMA）和其它尺寸排除技術粒子分析儀(yi) 器的客戶需求。

尺度測量方法學：

為(wei) 了確保與(yu) NIST的直接溯源性，產(chan) 品的粒徑是直接從(cong) NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術筆記1297方法（1994年版“NIST測量結果不確性評估指導方案”）計算得到的。產(chan) 品中所描述的不確性為(wei) 擴大性不確因素，覆蓋因子數為(wei) 2 （K=2）。

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