簡要描述:NIST溯源尺度標準,用於(yu) 需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為(wei) 各種矽晶片的表麵性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chan) 品的粒徑複合儀(yi) 器廠家所需的各種規格。SURF-CAL係列產(chan) 品完符合SEMI行業(ye) 協會(hui) 的建立的SSIS標指導準則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的範圍, 覆蓋了半導體(ti) 技術藍圖(ITRS)所義(yi) 的關(guan) 鍵質控點。
詳細介紹
Duke PD-155 SURF-CAL 尺度標準微粒
NIST溯源尺度標準,用於(yu) 需要高度視覺反差的尺度標和參考應用領域。SUR-CAL 為(wei) 各種矽晶片的表麵性狀的檢測和標提供了便利的工具。產(chan) 品的粒徑複合儀(yi) 器廠家所需的各種規格。SURF-CAL係列產(chan) 品完符合SEMI行業(ye) 協會(hui) 的建立的SSIS標指導準則, 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的範圍, 覆蓋了半導體(ti) 技術藍圖(ITRS)所義(yi) 的關(guan) 鍵質控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特的矽晶片(PSL)表麵,用戶以對掃描儀(yi) 進行周期性標,並與(yu) 其它的掃描儀(yi) 進行對比。 用戶還以對生產(chan) 環節中關(guan) 鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chan) 品包裝為(wei) 50ml,微粒分散於(yu) 超淨過濾去離子水中,微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100(粒徑1.112 μm)和小於(yu) 這一粒徑的產(chan) 品還提供1010 /ml 的產(chan) 品包裝規格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀(yi) (DMA)和其它尺寸排除技術粒子分析儀(yi) 器的客戶需求。
尺度測量方法學:
為(wei) 了確保與(yu) NIST的直接溯源性,產(chan) 品的粒徑是直接從(cong) NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉化而成的。尺度的不確性是依照NIST技術筆記1297方法(1994年版“NIST測量結果不確性評估指導方案”)計算得到的。產(chan) 品中所描述的不確性為(wei) 擴大性不確因素,覆蓋因子數為(wei) 2 (K=2)。
微粒組成: | 聚苯乙烯 |
微粒密度: | 1.05g/cm3 |
微粒數量: | 3 x 108 or 1010顆/毫升 |
包裝規格: | 50ml瓶裝,每盒6瓶 |
微粒折射率: | 1.59 @ 589 nm (25°C) |
添加劑: | 無 |
產(chan) 品保質期: | ≥2年 |
存儲(chu) 條件: | 冰箱儲(chu) 藏(冰點以上)防止冰凍,緊閉瓶蓋防止汙染 |
包裝內(nei) 容 | 標與(yu) 溯源證書(shu) 、粒子計數擬程序、原料安數據表(MSDS) |
Catalog Number | Certified | Expanded | Sie Distribution | |||
3 x 108 | 1010 |
|
| Std. Dev. | C.V.% | FWHM% * |
PD-047 | PD-047B | 0.047 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 7.5% | 17.4% |
PD-064 | PD-064B | 0.064 µm | 0.002 µm | 0.003 µm | 5.4% | 10.9% |
PD-083 | PD-083B | 0.083 µm | 0.002 µm | 0.004 µm | 4.2% | 9.6% |
PD-092 | PD-092B | 0.092 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 4.6% | 9.1% |
PD-100 | PD-100B | 0.100 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 2.6% | 5.2% |
PD-125 | PD-125B | 0.126 µm | 0.006 µm | 0.003 µm | 2.4% | 4.8% |
PD-155 | PD-155B | 0.155 µm | 0.003 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.7% |
PD-200 | PD-200B | 0.202 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.8% | 4.0% |
PD-204 | PD-204B | 0.204 µm | 0.008 µm | 0.004 µm | 1.8% | 3.7% |
PD-215 | PD-215B | 0.220 µm | 0.007 µm | 0.003 µm | 1.6% | 3.3% |
PD-305 | PD-305B | 0.304 µm | 0.005 µm | 0.004 µm | 1.4% | 3.4% |
PD-365 | PD-365B | 0.360 µm | 0.013 µm | 0.010 µm | 2.0% | 5.0% |
PD-500 | PD-500B | 0.498 µm | 0.010 µm | 0.006 µm | 1.1% | 2.5% |
PD-800 | PD-800B | 0.809 µm | 0.014 µm | 0.006 µm | 0.8% | 1.8% |
PD-802 | PD-802B | 0.802 µm | 0.011 µm | 0.009 µm | 1.1% | 2.4% |
PD1100 | PD1100B | 1.112 µm | 0.018 µm | 0.011 µm | 1.0% | 2.5% |
PD1600 |
| 1.59 µm | 0.02 µm | 0.016 µm | 1.0% | 2.6% |
PD2000 |
| 2.01 µm | 0.04 µm | 0.019 µm | 1.0% | 3.3% |
PD3000 |
| 3.04 µm | 0.06 µm | 0.026 µm | 0.9% | 2.7% |
杜克標準粒子 熱電粒子 熱電標準粒子 thermo粒子 thermo標準粒子 賽默粒子 賽默標準粒子飛世爾粒子 飛世爾標準粒子 fisher粒子 fisher標準粒子 (Duke thermo fisher) 美國Duke杜克標準粒子Duke標準粒子 聚苯乙烯 DUKE標準粒子/ 粒準乳膠球粒子/ 聚苯乙烯/ 標準微粒/ 微粒子/ Duke粒子 液體(ti) 顆粒計數儀(yi) 用 Duke 杜克3000係列20-900nm 產(chan) 品描述: Duke 杜克標準粒子 微粒 3000係列-聚苯乙烯納米微粒 20-900nm 儀(yi) 器介紹 Duke科學 Duke 杜克標準粒子 微粒 SURF-CAL用於(yu) 半導體(ti) 晶片掃描,0.047-3um 美國Duke 杜克標準粒子 3000 係列——-納米尺寸標準粒子(15mL包裝,1%固體(ti) 含量) Duke標準粒子 STANDARDS-COUNT-CAL係列 Duke標準粒子 挑戰性標準粒子 STANDARDS-EY-Cal係列(2-70um) 標準顆粒 標準物質 DUKE粒子 標準粒子 杜克粒子 美國杜克 NIST粒子 NIST標準物質 溯源粒子 溯源物質 溯源粒子 進口粒子 Duke 金屬和礦物粒子和微球 Duke Fluoro-Max 綠色和紅色幹粉狀熒光微球 Duke Fluoro-Max熒光標記粒子-綠色 DUKE HEPA-CHECK過濾膜挑戰微粒 Duke OptiBind 聚苯乙烯(PS)微粒 Duke OptiLink 羧基修飾聚苯乙烯微粒 Duke PHARM-TRO計數標準係列 Duke Power-Bind 鏈黴親(qin) 和素微粒 Duke Sera-Mag磁性微珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計數精度尺度標準微粒 Duke 粒子計數器標準 3K,4K係列 Duke 球形玻璃材料 Duke 8000係列矽微球尺寸標準粒子 Duke 9000係列玻璃微球尺寸標準粒子 Duke ChromoSphere-T彩色尺度標準微粒 Duke Color-Rich染色羧基修飾微球 Duke COUNT-CAL標準顆粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計數質控微粒 Duke Cyto-Cal Alignment光路排序校正微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒 Duke EY-CAL粒徑標準係列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 係列聚合物微粒懸浮液 Duke 2000係列均勻尺度聚合物標準粒子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低強度驗證微粒 Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒光強度校正微粒 Clintex 標準粒子 Duke DRI-CAL係列幹粉標準粒子歐共體(ti) 標準物質局(BCR)認證石英參考顆粒 Duke 3000係列納米級尺度標準粒子 Duke ChromoSphere 彩色顯色微球 - 幹粉 Duke 花粉和孢子非高分子聚合物微粒——球形植物孢粒和花粉 Duke Fluoro-Max 水相懸浮綠色 紅色 藍色熒光微球 Duke 7000係列共聚物微粒懸浮液 Duke SURF-CAL尺度標準微粒 Duke 4000係列聚合物微球尺寸標準粒子 Duke EY-CAL粒徑標準係列
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