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新品晶圓表麵用二氧化矽SiO2標準粒子的介紹
產(chan) 品名稱：
SiO2微粒子標準溶液
納米級別二氧化矽
SiO2標準粒子
晶圓表麵用二氧化矽
納米二氧化矽™尺寸標準
MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。
這些粒徑標準目前提供的標稱尺寸範圍為(wei) 15 至 200 nm，非常適合為(wei) 下一代晶圓和光掩模檢測係統生產(chan) 高質量校準標準。
雖然 MSP 23000NPT 係列和 2300G3 係列粒子沉積係統為(wei) 表麵缺陷校準標準的生產(chan) 提供了結果，但較舊的 MSP 係統和其他製造商的係統也適用於(yu) 納米二氧化矽尺寸標準。
特征
+ 極其均勻的尺寸分布
我們(men) 的納米二氧化矽尺寸標準采用獲得**的 SiO2合成工藝開發，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI 可追溯性測量的峰直徑
允許產(chan) 量提高和計量小組根據 ISO 9000 標準和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的可追溯性。
+ 受到強烈 DUV 輻射時穩定
MSP 的 SiO2顆粒在暴露於(yu) DUV 輻射時不會(hui) 降解，這與(yu) PSL 球體(ti) 不同，PSL 球體(ti) 的尺寸會(hui) 減小。
+ 易於(yu) 使用
NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應用中混合具有適當數量濃度的懸浮液時使用方便。
+ 高粒子濃度
一些應用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(ye) 內(nei) 最高的之一。
+ 輕鬆辨別模態（峰值）直徑
+ 避免由於(yu) 平均和峰值直徑值之間的差異而導致的差異
+ 製備適用於(yu) 效率相對較高或較低的氣溶膠產(chan) 生裝置的稀釋懸浮液
+ 為(wei) ***的檢測工具創建持久的校準標準
+ 消耗更少的材料；存錢
+ 隨附校準和可追溯性證書(shu) 以及帶有處理和處置說明的安全數據表 (SDS)
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型號 |
目錄編號 | 標稱粒徑 [nm] | 認證1峰值直徑 [nm] | 大約 Size Dist. Width, RFWHM2
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| 1044 | NS-0015A | 15 | 14-16 | 13% |
| 1046 | NS-0018A | 18 | 17-19 | 12% |
| 1047 | NS-0020A | 20 | 19-21 | 11% |
| 1048 | NS-0024A | 24 | 23-25 | 10% |
| 1075 | NS-0027A | 27 | 26-28 | 9% |
| 1049 | NS-0030A | 30 | 29-31 | 8% |
| 1079 | NS-0032A | 32 | 31-33 | 7% |
| 1062 | NS-0035A | 35 | 34-36 | 7% |
| 1076 | NS-0037A | 37 | 36-38 | 6% |
| 1051 | NS-0040A | 40 | 39-41 | 6% |
| 1063 | NS-0045A | 45 | 44-46 | 5% |
| 1052 | NS-0050A | 50 | 49-51 | 5% |
| 1077 | NS-0055A | 55 | 53-57 | 5% |
| 1053 | NS-0060A | 60 | 58-62 | 4% |
| 1067 | NS-0064A | 64 | 62-66 | 4% |
| 1054 | NS-0070A | 70 | 68-72 | 4% |
| 1068 | NS-0074A | 74 | 72-76 | 4% |
| 1055 | NS-0080A | 80 | 78-82 | 4% |
| 1069 | NS-0084A | 84 | 82-86 | 4% |
| 1057 | NS-0090A | 90 | 88-92 | 4% |
| 1070 | NS-0094A | 94 | 92-96 | 4% |
| 1058 | NS-0100A | 100 | 98-102 | 4% |
| 1071 | NS-0104A | 104 | 102-106 | 4% |
| 1059 | NS-0125A | 125 | 120-130 | 4% |
| 1060 | NS-0150A | 150 | 145-155 | 4% |
| 1061 | NS-0200A | 200 | 190-210 | 4% |
1給定目錄號的認證直徑將在規定範圍內(nei) 提供。
2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態直徑。
| 粒子組成 | 無定形SiO2 |
| 粒子密度 | 1.9 克/厘米3 |
| 折射率 | 633納米時為(wei) 1.41英寸 |
| 體(ti) 積 | 5 毫升 |
| 專(zhuan) 注 | 每毫升 1013至 1015顆粒 |
| 截止日期 | ≥ 24 個(ge) 月 |
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添加劑 | 乙醇（按質量計 5-20%） 有機穩定劑（<0.1% 質量） |
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儲(chu) 存和處理 | 在室溫下儲(chu) 存（參見校準和可追溯性證書(shu) 更多詳情。 |
NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation製作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從(cong) 18nm到200nm都可選擇，是市麵上***、高質量的校正標準，適用於(yu) 最新一代的晶圓表麵汙染/缺陷檢查係統及光罩檢查係統。
***的半導體(ti) 檢查技術已經發展到小於(yu) 30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表麵汙染/缺陷檢查係統及光罩檢查係統的校正，但新一代的檢查係統使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小於(yu) 20nm的汙染或缺陷，當UV光重複打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質量; 由於(yu) SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下擁有穩定的質量，因此SiO2微粒子是不錯的替代產(chan) 品。
NanoSilica™ 微粒子標準溶液是使用有**的SiO2合成技術，可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從(cong) 目前最小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標準溶液是尺寸最均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產(chan) 品，加上ISO 9000與(yu) SEMI的認證，讓良率提升及表麵檢查和缺陷評估有所依據。
NanoSilica™ 微粒子標準溶液使用15-mL滴定，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標皆標示產(chan) 品編號、生產(chan) 編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書(shu) 與(yu) Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書(shu) 。
產(chan) 品優(you) 勢
•尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下擁有穩定的質量
•高濃縮度微粒子懸浮溶液
產(chan) 品效益
•易於(yu) 微粒子撒粒係統、晶圓表麵汙染/缺陷檢查係統或各類分析儀(yi) 器偵(zhen) 測與(yu) 量測尺寸峰值
•可避免平均尺寸與(yu) 尺寸峰值的差異性
•適合氣膠產(chan) 生設備使用
•提供耐久校正標準給先進的檢測設備使用
•省錢而且耗用量少
