塵埃粒子計數器的關(guan) 鍵部件,對儀(yi) 器的性能影響很大。光源要求穩性高、壽命長、不受幹擾。
1.光源
光源有普通光源和激光光源兩(liang) 種。普通光源為(wei) 碘鎢燈,體(ti) 積大、發熱量高、壽命短,開機後需要預熱。激光光源為(wei) 激光器,體(ti) 積小、穩性高、壽命長,常與(yu) 檢測腔及光檢測器做成一體(ti) ,組成傳(chuan) 感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。
采用普通光源的塵埃粒子計數器對0.3μm以下的微粒信號響應很低,其信號幅度與(yu) 計數器本身的噪聲幅度相差無幾,信號很難從(cong) 噪聲中檢測出來。此類儀(yi) 器雖然標有0.3μm這一通道,但隻適於(yu) 測大於(yu) 0.3μm特別是0.5μm以上的微粒。
由於(yu) 激光的單色性好,光能量集中穩,所以采用激光光源的塵埃粒子計數器其傳(chuan) 感器有較高的信噪比,此類儀(yi) 器有些能檢測到0.1μm的微粒。
2.測量腔
測量腔是進行微粒觀測的空間,被采集的空氣要從(cong) 測量腔內(nei) 穿過。儀(yi) 器的光學係統使光源經透鏡、狹縫照射到測量腔中,形成一個(ge) 體(ti) 積約幾個(ge) 立方毫米的光敏感區。當空氣中的塵埃通過光敏感區時,會(hui) 散射出一部分光能量,被與(yu) 入射光成一角度(90度或70度)的集光透鏡收集,再投射到光檢測器上。
3.光檢測器
光檢測器是將散射光能量轉換為(wei) 電信號的光電轉換器件。塵埃粒子計數器中常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。
光電倍增管把光電子放大幾萬(wan) 倍後轉換成幾個(ge) 毫伏到幾十毫伏的電信號,具有光譜線性好、響應時間快、暗電流小的優(you) 點,缺點是體(ti) 積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓,儀(yi) 器中有相應的高壓產(chan) 生電路,在對儀(yi) 器進行調試或校準時應注意安。
光電二極管是一種受到光照後能產(chan) 生電子的半導體(ti) 元件,具有體(ti) 積小、外圍電路簡單的特點,常與(yu) 檢測腔做成一體(ti) 。
4.流量監控
塵埃粒子計數器的采樣流量一般為(wei) 2.83L/min或28.3L/min,進口儀(yi) 器常標識為(wei) 0.1cfm(立方英尺每分鍾)或1cfm,主要是為(wei) 了便於(yu) 進行符合Fed-Std-209E的潔淨度的計算。
大流量的采樣(28.3L/min)更能準確地反映空氣的潔淨狀況,但使大采樣濃度降低。
5.氣泵及過濾器
氣泵位於(yu) 儀(yi) 器內(nei) 部,使儀(yi) 器產(chan) 生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動小、產(chan) 生的氣流穩。過濾器應能過濾掉0.3μm以上的微粒,以免從(cong) 儀(yi) 器排出的空氣對潔淨區產(chan) 生影響。
6.電路係統
不同粒徑大小的粒子經塵埃粒子計數器的光電係統轉換後,會(hui) 產(chan) 生不同幅度(電壓)的電脈衝(chong) 信號,粒徑越大,脈衝(chong) 電壓越高。信號電壓與(yu) 粒徑之間的關(guan) 係,也叫轉換靈敏度。對於(yu) 給的塵埃粒子計數器,粒徑大小與(yu) 脈衝(chong) 電壓是一一對應的,例如某台塵埃粒子計數器的轉換靈敏度為(wei) 0.3μm對應69mv,0.5μm對應531mv,1.0μm對應701mv等,若塵埃粒子計數器檢測到一個(ge) 脈衝(chong) 為(wei) 100mv,則這個(ge) 粒子的大小肯大於(yu) 0.3μm而小於(yu) 0.5μm。
塵埃粒子計數器是測量大於(yu) 等於(yu) 某一粒徑的粒子數量的儀(yi) 器,其內(nei) 部電路就是統計大於(yu) 等於(yu) 某一電壓值的脈衝(chong) 數量的電路。對於(yu) 上段中的例子,測量空氣中大於(yu) 等於(yu) 0.3μm粒子的數量,在電路中就是統計大於(yu) 等於(yu) 69mv的脈衝(chong) 的個(ge) 數,測量大於(yu) 等於(yu) 0.5μm粒子的數量,在電路中就是統計大於(yu) 等於(yu) 531mv的脈衝(chong) 的個(ge) 數,依此類推。所以儀(yi) 器對塵埃粒子的測量,主要靠轉換靈敏度這個(ge) 參數。
另外需要說明的是,每台塵埃粒子計數器的轉換靈敏度均不同,在出廠時及以後須期用標準粒子進行校準,以獲得佳轉換靈敏度值。
電路係統就是完成對脈衝(chong) 信號的放大、甄別、計數的電路。此外還包括電源、控製、顯示、計算、打印等電路。