氣體塵埃粒子計數器的校正程序

更新時間：2012-11-30 點擊次數：2055

塵埃粒子計數器是用於(yu) 測量潔淨環境中單位體(ti) 積內(nei) 塵埃粒子數和粒徑分布的儀(yi) 器。它廣泛應用於(yu) 為(wei) 各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等機構、電子行業(ye) 、製藥車間、半導體(ti) 、光學或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫院、環保、檢驗所等生產(chan) 企業(ye) 和科研部門。

氣體(ti) 塵埃粒子計數器：

一．校正所需設備

1． 100級潔淨房或潔淨台

2．一台用於作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器，如Royco323

3．各粒徑的標準粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等

4．標準粒子氣體產生器，如Model 255

5．產生脫離水（DI水）的純水係統或類似裝置

6．其它普通電器，如220V電源插座，萬用表等等

二．校正的基本原理

標準粒子（如0.301um）通過255粒子產生器由液狀霧化成氣體，並由其內置泵通過0.2um的過濾器後的幹燥氣體進入取樣管路，這時，將兩台相同塵埃粒子計數器同時或先後對取樣管進行抽樣測試，並比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內，認為合格。如果不同型號的粒子計數器，一要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數等參數，並且，還要明白怎樣理解其測試結果。

三. 校正的基本步驟：

現假設對一台常見的Royco HH200作校正

1．先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鍾），而Royco HH200則為0.1CFM。

2．先，請將潔淨台開機，工作半小時，其間內也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預熱半小時。

3．準備好255的取樣器管，並搭接好其所有氣體管路。

4．將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

5．設置Royco323和Royco HH200的基本參數

（1）取樣時間都設置為00：01：00

（2）取樣次數都設置03

（3）取樣模式都設置為Auto

（4）間隔時間都設置為00：00：05

（5）讀數模式都設置為Cumulative

注：以上設置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結果會是Royco HH200的10倍。

6．此時，打開255電源，調節脫原子氣體閥和幹燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，幹燥氣體流速計約60SCFH時後，保持其工作狀態。

7．此時，讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結果，若在20%以內，視為合格。

8．拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重複該測試。

以上校正隻是對比校正，尚用萬(wan) 用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。