塵埃粒子計數器有效的校準方法

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塵埃粒子計數器是一種在潔淨領域應用廣泛的重要儀(yi) 器，主要用於(yu) 評潔淨室潔淨度等級，還用來檢測過濾器的過濾效率、潔淨織物的發塵量。使用的行業(ye) 包含電子廠、藥廠、醫療器械廠以及檢測實驗室等等。塵埃粒子計數器是利用光的散射原理對空氣中的塵埃粒子數目和粒徑進行計量，工作原理（圖 1）：來自光源的光線被透視鏡組聚焦於(yu) 檢測區域，塵埃粒子計數器通過采樣泵使采樣空氣通過該區域。當一個(ge) 塵埃粒子（簡稱粒子）通過時，便把入射光散射一次，產(chan) 生一個(ge) 光脈衝(chong) 信號，經過放大、甄別，篩選出需要的信號，再通過計數係統顯示出來，電脈衝(chong) 信號的高度反映粒子的大小，信號的數量反映了粒子的個(ge) 數。主要關(guan) 注的技術指標就是粒子的大小和個(ge) 數。

粒子的大小以溯源到標準粒子，通常采用聚苯乙烯塑料乳膠小球（PLS：Polymer LatexSuspensions），通過掃描電鏡等進行尺寸溯源。但是粒子的個(ge) 數，很難有一個(ge) 靠的量值溯源方式。塵埃粒子計數器檢測到的粒子難以捕集，沒有有效的方式清點個(ge) 數，也無法稱重。即使很好的執行采樣的每一個(ge) 步驟，不同塵埃粒子計數器的計數顯示仍然會(hui) 有很大的不同。主要原因是各家塵埃粒子計數器在設計與(yu) 性能方麵存在差異，所以塵埃粒子計數器的校準一直以來是外研究的熱點和難點。

國外大量文獻[2-5]提到了計數效率這一概念。所謂計數效率，即為(wei) 塵埃粒子計數器顯示的粒子數與(yu) 從(cong) 塵埃粒子計數器進氣口采樣氣溶膠中得到的標準粒子數的比值。將小測粒徑 < 0.2 μm的儀(yi) 器歸為(wei) A 類，≥ 0.2 μm 的歸為(wei) B 類。A 類粒子計數器是凝聚核計數器或具有不低於(yu) 同等性能的類似計數器，以 A 類計數器為(wei) 標準即得到B 類計數器的計數效率，計數效率的具體(ti) 指標：塵埃粒子計數器對於(yu) 小測粒徑下計數效率應子計數器的溯源問題同樣沒有解決(jue) ，僅(jin) 僅(jin) 隻是大家的默許認，並未能成為(wei) 基準。文獻同時提到了粒徑檔響應電壓，該方法需將多通道脈衝(chong) 幅度分析儀(yi) 連接到待檢塵埃粒子計數器的輸出端（前置放大器的輸出端或主要放大器的輸入端）。用標準粒子發生裝置產(chan) 生適合不同粒徑的標準粒子的實驗用氣溶膠，分析不同粒徑檔對應的脈衝(chong) 信號，做出脈衝(chong) 頻率曲線，確不同標準粒子的響應電壓。還提到了利用塵埃粒子計數器以比較法進行校準。

依據塵埃粒子計數器的量值溯源需求，1988 年製了 JJG547-88《塵埃粒子計數器》，利用多分散標準粒子檢塵埃粒子計數器的粒徑分布準確性、單分散粒子測量離散度。該規程回避了直接對粒子濃度的檢，采用分部法，其所有指標均為(wei) 間接值。2008 年經過多年努力修訂了該規程，變更為(wei) JJF1190-2008《塵埃粒子計數器》[7]。該規範的主要技術指標包括外觀要求、緣電阻、電氣強度、自淨時間、流量誤差、計時誤差、重複性、粒徑分布誤差、粒子濃度示值誤差，覆蓋了該計量器具的基本性能，同時也考慮到檢工作的科學性和操作性等因素。該規範創新提出，用標準粒子發生裝置產(chan) 生標準粒子氣溶膠，以精密塵埃粒子計數器作為(wei) 標準器，校準一直以來回避但又極其重要的指標：粒子濃度示值誤差。塵埃粒子計數器校準的關(guan) 鍵是標準粒子發生裝置、精密塵埃粒子計數器以及數據處理。

20 世紀 70 年代，我國研製了*台塵埃粒子計數器，開始了對塵埃粒子計數器以及校準方法的研究。1985 年製了 GB6167.1 ~GB6167.2 - 85《塵埃粒子計數器性能實驗方法》，2009 年進行修訂[6]。該標準主要參考國外的相關(guan) 文獻，提出了計數效率、粒徑響應電壓以及比較法。對生產(chan) 企業(ye) 的產(chan) 品出廠調試、產(chan) 品質量的提高有著非常積極的意義(yi) ，但不適合計量檢部門開展量值溯源（先計量檢部門的量值溯源工作是不允許拆卸被校準設備的）。

塵埃粒子計數器的校準沒有建立國家基標準（國外也未見），因此對塵埃粒子計數器的校準情況非常特殊，存在很大難度。國家計量校準規範JJF1190-2008《塵埃粒子計數器》的實行，對保證國量值一致性，抑製目前市場放任的局麵是有好處的。