氣體塵埃粒子計數器的校正方法

      氣體(ti) 塵埃粒子計數器的校正方法
本文介紹的是氣體(ti) 塵埃粒子計數器的校正所需設備、基本原理已經基本步驟。
一、校正所需設備
1、100級潔淨房或潔淨台
2、一台用於(yu) 作對比，尚在校正期內(nei) 的塵埃粒子計數器
3、各粒徑的標準粒子 
4、可產(chan) 生脫離水（DI水）的純水係統或類似裝置
5、標準粒子氣體(ti) 產(chan) 生器
6、其它普通電器
二、校正的基本原理
標準粒子通過255粒子產(chan) 生器由液狀霧化成氣體(ti) ，並由其內(nei) 置泵通過0.2um的過濾器後的幹燥氣體(ti) 進入取樣管路，這時，將兩(liang) 台相同塵埃粒子計數器同時或先後對取樣管進行抽樣測試，並比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nei) ，認為(wei) 合格。如果不同型號的粒子計數器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數等參數，並且，還要明白怎樣理解其測試結果。
三.、校正的基本步驟：
現假設對一台常見的Royco HH200作校正
1、首先，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣，但Royco 323流速為(wei) 1CFM（立方英尺/分鍾），而Royco HH200則為(wei) 0.1CFM。
2、將潔淨台開機，工作半小時，其間內(nei) 也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預熱半小時。
3、準備好255的取樣器管，並搭接好其所有氣體(ti) 管路。
4、將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體(ti) 超過噴嘴。
5、設置Royco323和Royco HH200的基本參數
（1）取樣時間都設置為(wei) 00：01：00
（2）取樣次數都設置03
（3）取樣模式都設置為(wei) Auto
（4）間隔時間都設置為(wei) 00：00：05
（5）讀數模式都設置為(wei) Cumulative
注：以上設置相同，因其流速有10倍差，故Royco323測試結果會(hui) 是Royco HH200的10倍。
6、打開255電源，調節脫原子氣體(ti) 閥和幹燥氣體(ti) 閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，幹燥氣體(ti) 流速計約60SCFH時後，保持其工作狀態。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時工作，看其三次的平均結果，若在20%以內(nei) ，視為(wei) 合格。
8、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重複該測試。
9、以上校正隻是對比校正，尚可用萬(wan) 用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。